INFICON Ecotec E3000 Multigas-Sniffer-Leak Detector - Handbuch (Seite 63)

7 Warn- und Fehlermeldungen
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* Die Arbeit darf nur von Servicepersonal durchgeführt werden, das von INFICON
autorisiert wurde.
E91 Überspannung (an der TMP, E002) Fehler in der Stromversorgung der Turbomolekular-
pumpe Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
E92 Hochlaufzeitfehler (E006) Die Turbomolekularpumpe läuft nicht richtig hoch. Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
E93 Verbindung Antriebselektronik - Pumpe
fehlerhaft (E008)
Die Verbindung zwischen der Steuerung und der Tur-
bomolekularpumpe ist fehlerhaft. Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
E94 Fehler in der TC-Steuereinheit (E015) Defekte Turbomolekularpumpen-Steuerung. – Schalten Sie das Gerät aus. Warten Sie, bis die Pumpe
zum Stillstand gekommen ist (> 5 min). Schalten Sie
das Gerät wieder ein.
– Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
E95 Antriebselektronik erkennt Pumpe nicht.
(E021)
Fehler in der Kommunikation zwischen der Turbo-
molekularpumpe und der Steuerung. Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
E96 Fehler bei der Temperaturüberwachung
der TC (E025)
Der Hauptluftfilter ist verschmutzt. Reinigen oder ersetzen Sie den Filter, siehe Seite 70 .
Bestätigen Sie die Arbeit, siehe Seite 67 .
Die Umgebungstemperatur ist zu hoch. Beachten Sie die Umgebungsbedingungen, siehe
Seite 14 .
E97 Fehler des Temperatursensors in der TC
(E026)
Der Temperatursensor ist defekt. Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
E98 Fehler in den Motorstufen oder Steue-
rung (E037)
Es liegt ein Fehler in den Motorstufen oder der Steu-
erung vor. Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
E99 Fehler am Netzanschluss (F007) Die Netzspannung ist ausgefallen. Wenden Sie sich an den INFICON-Kundendienst.
Tabelle 10: Warn- und Fehlermeldungen (Forts.)
Nr. Meldung Mögliche Fehlerquellen Störungsbeseitigung