INFICON SKY CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge - Handbuch (Seite 4)

4 tina57d1 (2010-01)
Bestimmungsgemässer Gebrauch
Die Capacitance Diaphragm Gauges der CDG025D X3-Serie
sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Absolutdruck-Mes-
sung von Gasen in unterschiedlichen Messbereichen (
→ 3).
Sie sind reinraumtauglich und besitzen einen doppelten Schutz
gegen Verschmutzung.
Die Messröhren gehören zu der Familie SKY
®
Smart Sensors
und können mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder
mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Die CDG-Messröhre besteht aus einem keramischen kapazitiven
Aufnehmerelement und einer Elektronik, die die Kapazität in ein
Gleichspannungs-Ausgangssignal umwandelt.
Das Ausgangssignal ist linear mit dem zu messenden Druck und
unabhängig von der zu messenden Gasart.
Marken
SKY
®
INFICON GmbH
VCR ® Swagelok Marketing Co.
Patente
EP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085
Lieferumfang
1× Messröhre in Reinraumverpackung
1× Taststift
1× Kalibrierzertifikat
1× Gebrauchsanleitung deutsch
1× Gebrauchsanleitung englisch