VACUUBRAND HP 63B2 - Handbuch (Seite 14)

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Reihenfolge, Druckangaben und Zeitangaben unbedingt einhalten.
Einschalten des Pumpstands
(Pumpe und Rezipient haben Atmosphärendruck)
➨ Vorvakuumventil (V1) öffnen. Bypassventil (V2), Hochvakuumventil (V3) und Be-
lüftungsventil (V4) schließen.
➨ Vorpumpe (Drehschieberpumpe RZ 2.5 oder RZ 6) einschalten, Öldiffusions-
pumpe einschalten.
☞ Die Öldiffusionspumpe lässt sich nur zuschalten, wenn die Vorpumpe in Betrieb
ist.
➨ Vorvakuumventil (V1) nach der Anheizzeit (ca. 15 Minuten) und unterhalb eines
Vorvakuumdrucks (M1) < 0.1 mbar schließen.
➨ Bypassventil (V2) öffnen.
➨ Bypassventil (V2) bei Kammerdruck < 0.1 mbar schließen.
➨ Vorvakuumventil (V1) öffnen.
➨ Hochvakuumventil (V3) öffnen.
☞ Achtung: Erfolgt ein Druckanstieg über 0.1 mbar in der Vorvakuummessleitung
(M1), Hochvakuumventil (V3) schließen und mit der Vorpumpe wieder unter 0.1
mbar evakuieren.
☞ Setzt der Thermoschutzschalter die Drehschieberpumpe außer Betrieb, un-
bedingt Hochvakuumventil (V3) schließen und Diffusionspumpe ausschal-
ten!
Belüften des Rezipienten
➨ Hochvakuumventil (V3) schließen.
➨ Bypassventil (V2) schließen (falls nicht geschlossen).
➨ Belüftungsventil (V4) öffnen.
Erneutes Evakuieren
➨ Belüftungsventil (V4) schließen.
➨ Vorvakuumventil (V1) schließen.
➨ Bypassventil (V2) öffnen.
➨ Bypassventil (V2) bei einem Kammerdruck von < 0.1 mbar schließen.
➨ Vorvakuumventil (V1) öffnen.
➨ Hochvakuumventil (V3) öffnen.
☞ Achtung: Erfolgt ein Druckanstieg über 0.1 mbar in der Vorvakuummessleitung
(M1), Hochvakuumventil (V3) schließen und mit der Vorpumpe wieder unter 0.1
mbar evakuieren.
☞ Setzt der Thermoschutzschalter die Drehschieberpumpe außer Betrieb, un-
bedingt Hochvakuumventil (V3) schließen und Diffusionspumpe ausschal-
ten!
HINWEIS
Inbetriebnahme