INFICON SKY CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 34)

34 tina52d1-d (2014-02)
5 Ausbau
Voraussetzungen:
• Vakuumsystem belüftet
• Vakuumsystem abgekühlt auf <50 °C
5.1 Elektrischen Anschluss trennen

Messröhre außer Betrieb setzen.

Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen.
5.2 Vakuumanschluss trennen
GEFAHR
GEFAHR: Heiße Oberfläche
Das Berühren der heißen Oberfläche (>50 °C)
kann zu Verbrennungen führen.
Das Produkt außer Betrieb setzen und abkühlen
lassen
WARNUNG
WARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zer-
stören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver-
meiden.