INFICON SKY CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 6)

6 tina52d1-d (2014-02)
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemäßer Gebrauch 4
Funktion 4
Marken 4
Patente 5
Lieferumfang 5
1 Sicherheit 8
1.1 Verwendete Symbole 8
1.2 Personalqualifikation 8
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 9
1.4 Verantwortung und Gewährleistung 9
2 Technische Daten 10
3 Einbau 16
3.1 Vakuumanschluss 16
3.2 Elektrischer Anschluss 20
3.2.1 Stecker D-Sub, 9-polig 21
3.2.2 Stecker D-Sub, 15-polig 22
4 Betrieb 23
4.1 Anzeigen 23
4.2 Messröhre abgleichen 24
4.3 Schaltfunktionen 29
4.4 Werkseinstellungen laden (Factory Reset) 32
4.5 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) 33
5 Ausbau 34
5.1 Elektrischen Anschluss trennen 34
5.2 Vakuumanschluss trennen 34
6 Instandhaltung, Instandsetzung 37
7 Produkt zurücksenden 37
8 Produkt entsorgen 38
9 Zubehör 39