INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 34)

34 tina83d1-a (2014-02)
4.6 Zündverzögerung
Kaltkathoden-Messsysteme haben beim Einschalten eine Zünd-
verzögerung. Sie nimmt mit tieferen Drücken zu und beträgt bei:
1Ч10
-5
… 1Ч10
-2
mbar < 1 Sekunde
1Ч10
-7
… 1Ч10
-5
mbar <20 Sekunden
5Ч10
-9
… 1Ч10
-7
mbar < 2 Minuten
<5×10
-9
mbar <20 Minuten
Nur MPG50x
Solange der Kaltkathoden-Messkreis nicht gezündet hat, gibt der
Signalausgang den reinen Pirani-Messwert wieder. Der Status-
ausgang (= 0 V) signalisiert reinen Pirani-Betrieb.
Falls die Hochspannung bei einem Druck p < 3×10 -9
eingeschaltet wird, kann die Messröhre nicht erkennen,
ob das Kaltkathodensystem gezündet hat.
Halten Sie die angeflanschte Messröhre unabhängig
vom Druckbereich ständig in Betrieb. Dadurch ist die
Zündverzögerung des Kaltkathoden-Messkreises ver-
nachlässigbar (<1 Sekunde) und thermische Stabili-
sierungseffekte sind minimiert.
4.7 Verschmutzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B
Ionisationskammer, Zündhilfe, Pirani-Heizfaden (MPG50x)),
fallen nicht unter die Gewährleistung.
Die Verschmutzung der Messröhre ist abhängig von der Art der
Prozessmedien, eventuell vorhandenen oder neu entstehenden
Verunreinigungen und deren Partialdruck. Dauernder Betrieb im
Bereich 10
-4
mbar … 10
-2
mbar kann zu starker Verschmutzung
und zu kurzen Standzeiten führen.