3 drucksensor, 5 grundsätzliches über ventile, 1 magnetventil – Bronkhorst Mass Flow Benutzerhandbuch

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BRONKHORST HIGH-TECH B.V.

Der Sensor mißt den Temperaturunterschied zwischen Zu- und Abströmseite des Meßrohres mittels

einer Thermosäule. Die vereinfachte Funktion kann in folgender Gleichung ausgedrückt werden:

V

K c

signal

p

m

= ⋅

⋅ Φ

V

signal

= Ausgangssignal

K

= Kalibrierungskonstante

c

p

= spezifische Wärme

Φ

m

= Massendurchfluß

1.4.3 Drucksensor

Der EL-PRESS Drucksensor besteht aus einer piezoresistiven Meßbrücke auf der Oberfläche eines Silicium-

Kristalls.

Der Sensor befindet sich in einer Hülse aus rostfreiem Stahl und ist von der Umgebung abgetrennt durch

eine dünne Metallmembrane. Die Kammer um den Sensor herum ist mit Öl als Druckmittler gefüllt.

1.5 Grundsätzliches über Ventile

Regelventile sollen den Durchfluß oder Druck regeln bzw. konstant halten. Sie sind nicht als

Absperrventile vorgesehen, obwohl einige Modelle konstruktiv hierfür gut geeignet sind. Falls notwendig,

sollte ein separates Absperrventil installiert werden. Ebenfalls sind Pulsationen, Druckstöße, die beim

Unterdrucksetzen des Systems entstehen können, zu vermeiden.

Es sind folgende Modelle erhältlich:

1.5.1 Magnetventil

Dies ist das Standardregelventil (direkt betrieben). Im

allgemeinen ist es ein normal geschlossenes Magnetventil. Der

Kolben wird durch die Magnetkraft der Spule angehoben. Die

Ventilbohrung ist zur Anpassung des K

V

-Wertes austauschbar.

Es ist auch ein normal geöffnetes Magnetventil erhältlich.

1.5.2 Vary-P-Ventil

Für Betriebsbedingungen mit sehr unterschiedlichem Vor- und

Hinterdruck wurde ein spezielles Ventil, das VARY-P-Ventil,

konstruiert. Dieses Ventil besteht aus zwei Ventilen, einem

magnetgesteuerten Regelventil und einem fest eingestellten

Druckausgleichsventil.

flowcontrol

valve

flowcontrol

valve

pressure

compensating

valve

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