3betrieb, 4wartung, 5 fehlersuche – Bronkhorst Mass Flow Benutzerhandbuch

Seite 7: Anhang

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BRONKHORST HIGH-TECH B.V.

3

Betrieb

3.1

Allgemein ....................................................................................................................................Seite 20

3.2

Einschalten und Aufwärmen .......................................................................................................Seite 20

3.3

0 Punkt-Kontrolle und Einstellung ...............................................................................................Seite 20

3.4

Anfahren .....................................................................................................................................Seite 20

3.5

Betriebsbedingungen ..................................................................................................................Seite 20

3.6

Zeitverhalten ...............................................................................................................................Seite 21

3.6.1 Sensoren .....................................................................................................................................Seite 21

3.6.2 Regler..........................................................................................................................................Seite 21

4

Wartung

4.1

Allgemeines ................................................................................................................................Seite 22

4.2

Gasflußsensoren .........................................................................................................................Seite 22

4.3

Flüssigkeitssensoren ..................................................................................................................Seite 22

4.4

Drucksensor ................................................................................................................................Seite 22

4.5

Regler..........................................................................................................................................Seite 22

4.6

Regelventile ................................................................................................................................Seite 22

4.6.1 Magnetventile ..............................................................................................................................Seite 22

4.6.2 Vary-P-Ventile .............................................................................................................................Seite 23

4.6.3 Pilotgesteuertes Ventile ..............................................................................................................Seite 23

4.6.4 Balgventil .....................................................................................................................................Seite 23

4.7

Berechnung des K

v

-Wertes ........................................................................................................Seite 24

4.7.1 Für Gase .....................................................................................................................................Seite 24

4.7.2 Für Flüssigkeiten .........................................................................................................................Seite 24

4.8

Maximaler Druckabfall ................................................................................................................Seite 25

4.9

Kalibriervorgang ..........................................................................................................................Seite 26

5

Fehlersuche

5.1

Allgemeines ................................................................................................................................Seite 27

5.2

Fehlersuchtabelle ........................................................................................................................Seite 27

Anhang

1

Gaskonversionstabelle

2

Anlagen (falls verwendbar)

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