INFICON SKY CDG025D-X3 0.1 ... 1000 Torr / mbar process gauge - Handbuch (Seite 8)

8 tina57d1 (2010-01)
2 Technische Daten
Messbereich → "Gültigkeit"
Genauigkeit
1)
≥1 Torr/mbar (F.S.)
0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.1 Torr/mbar (F.S.)
0.20% vom Messwert
0.25% vom Messwert
0.50% vom Messwert
Temperatureinfluss auf Nullpunkt
≥10 Torr/mbar (F.S.)
1 / 2 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.0050% F.S./ °C
0.015% F.S./ °C
0.020% F.S./ °C
Temperatureinfluss auf Bereich
≥1 Torr/mbar (F.S.)
0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.01% vom Messwert / °C
0.03% vom Messwert / °C
Auflösung 0.003% F.S.
Gasartabhängigkeit keine
Ausgangssignal analog
(Messsignal)
Spannungsbereich –5 … +10.24 V
Messbereich 0 … +10 V
Beziehung Spannung-Druck linear
Ausgangsimpedanz 0 Ω (kurzschlussfest)
Lastimpedanz >10 k Ω
Ansprechzeit
≥0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.1 Torr/mbar (F.S.)
30 ms
130 ms
Identifikation der Messröhre Widerstand 13.2 k Ω gegen
Speisungserde
1)
Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit bei 23 °C ohne
Temperatureinfluss nach 2 h Betrieb.