INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Xtc/3, Dünnschicht-prozessregelgerät
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Inhaltsverzeichnis
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- Kapitel 1 Einführung und Technische Daten
- 1.1 Einführung
- 1.2 Gerätesicherheit
- 1.3 Mit dem Kundendienst Kontakt aufnehmen
- 1.4 XTC/3 Spezifikationen
- 1.4.1 Messverfahren
- 1.4.2 Anzeige und Parameter
- 1.4.3 Prozessrezept Speicherung
- 1.4.4 Anzeige
- 1.4.5 Ausgänge für Aufdampfquelle / Schreiber
- 1.4.6 Relais/Eingänge
- 1.4.7 Externe Kommunikation
- 1.4.8 Zubehör
- 1.4.9 Stromversorgung
- 1.4.10 Umgebungsbedingungen
- 1.4.11 Lagertemperatur
- 1.4.12 Aufwärmzeit
- 1.4.13 Abmessungen
- 1.4.14 Platzbedarf für Steckverbinder
- 1.4.15 Gewicht
- 1.4.16 Reinigung
- 1.5 Entpacken und Inspektion
- 1.6 Übersicht der Komponenten und Optionen
- 1.7 Erstmaliges Einschalten zur Funktionsprüfung
- Kapitel 2 Installation und Schnittstellen
- 2.1 Hinweise zur Aufstellung
- 2.2 Vermeidung elektrischer Störungen
- 2.3 Verbinden des Regelgerätes
- Kapitel 3 Betrieb
- 3.1 Bedienelemente auf der Frontplatte
- 3.2 Anschlüsse auf der Rückseite
- 3.3 Anzeigen
- 3.4 Durchführung eines Prozess
- 3.5 Status Beschreibungen
- 3.6 Besondere Eigenschaften
- 3.6.1 Einen Prozess Automatisieren
- 3.6.2 Ion Assisted Deposition
- 3.6.3 Control Delay- Regelverzögerung
- 3.6.4 Shutter Delay- Blendenverzögerung
- 3.6.5 Aufdampfratenrampentrigger für die endgültige Schichtdicke
- 3.6.6 Transfer Sensor
- 3.6.7 Crucible Switching-Tiegel Wechsel
- 3.6.8 Quarzwechsel
- 3.6.9 Konfiguration für "Start Without Backup" Start Ohne Backup
- 3.6.10 RateWatcher
- 3.6.11 Steuerung mit Handfernbedienung (Option)
- 3.6.12 Lock Code/Passwort
- 3.6.13 Parameter Löschen
- 3.6.14 Datalog Datenaufzeichnung
- 3.6.15 TCP/IP
- Kapitel 4 Parametereingabe
- Kapitel 5 Externe Kommunikation
- 5.1 Kommunikationsübersicht
- 5.2 "Standard" Protokoll Nachrichtenformat
- 5.2.1 "Standard" Protokoll
- 5.2.2 "Standard" Kommunikationsbefehle
- 5.2.2.1 "Standard" ECHO Befehl
- 5.2.2.2 "Standard" HELLO Befehl
- 5.2.2.3 "Standard" QUERY-ABFRAGE Befehle
- 5.2.2.3.1 Query-Abfrage Block
- 5.2.2.3.2 "Standard" Query-Abfrage Film Namen (nur XTC3/M)
- 5.2.2.3.3 "Standard" Query-Abfrage Film Parameter
- 5.2.2.3.4 "Standard" Query-Abfrage General Parameter
- 5.2.2.3.5 "Standard" Query-Abfrage Eingangdefinition (nur XTC/3M)
- 5.2.2.3.6 Standard Query-Abfrage Ausgangdefinition (nur XTC/3M)
- 5.2.2.3.7 "Standard" Query-Abfrage Ausgangtyp Definition (Nur XTC/3M)
- 5.2.2.3.8 "Standard" Query-Abfrage Prozess Parameter (Nur XTC/3M )
- 5.2.2.4 "Standard" Update-Aktualisieren Befehle
- 5.2.2.4.1 Update-Aktualisieren Block
- 5.2.2.4.2 "Standard" Film Name Update-Aktualisieren (nur XTC/3M)
- 5.2.2.4.3 "Standard" Film Parameter Update-Aktualisieren
- 5.2.2.4.4 "Standard" General Parameter Update-Aktualisieren
- 5.2.2.4.5 "Standard" Eingang Definition Update-Aktualisieren (nur XTC/3M)
- 5.2.2.4.6 "Standard" Ausgang Definition Update-Aktualisieren (nur XTC/3M)
- 5.2.2.4.7 "Standard" Ausgang Typ Definition Update-Aktualisieren (Nur XTC/3M )
- 5.2.2.4.8 "Standard" Prozess Parameter Update-Aktualisieren (nur XTC/3M)
- 5.2.2.5 "Standard" STATUS Befehle
- 5.2.2.6 "Standard" REMOTE-Fernbedienung Befehle
- 5.3 XTC/2 Protokolle
- Kapitel 6 Fehlersuche, Status- und Fehlermeldungen
- 6.1 Status und Fehlermeldungen
- 6.2 Instrument Diagnostic (Geräte Diagnostik )
- 6.3 Hinweise zur Fehlersuche
- 6.4 Austauschen des Quarzes
- 6.5 Quarz Sensor Emulator IPN 760-601-G2
- Kapitel 7 Kalibrierverfahren
- Kapitel 8 Messtechnik und Regelungstheorie
- Appendix A Materialtabelle
- Index