4 funktionsweise des mfc (mass flow controller), Yx x – Burkert Type 8741 Benutzerhandbuch

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Systembeschreibung

Typ 8741

5.4

Funktionsweise des mFc (mass
Flow controller)

aufbau:
• Die Messung des Massendurchflusses erfolgt über einen Sensor
• Zur Regelung des Massendurchflusses verfügt der MFC über

eine Elektronik und ein reibungsarmes Proportionalventil mit hoher
Ansprechempfindlichkeit.

hinWeis!

Fehlfunktion durch Verunreinigung.
Für die einwandfreie Funktion des MFC, muss bei verunreinigten
Betriebsmedien, vor dem Gerät ein Filter eingebaut werden.
Siehe Kapitel „6.3.1 Qualität der Betriebsmedien“.

Funktionsweise:
Der Sensor misst den Massendurchfluss und leitet den Messwert an die
integrierte Elektronik weiter. Die Elektronik vergleicht den gemessenen
Istwert (x) mit dem vorgegebenen Sollwert (w) und berechnet die an
das Proportionalventil zu übermittelnden Stellgröße (y), um dessen
Öffnung zu steuern.
Der Massendurchfluss wird entweder anhand eines konstanten Wertes
stabil gehalten, oder entsprechend einem vordefinierten Profil verändert.
Die Regelung erfolgt unabhängig von Druckschwankungen oder
erhöhtem Fließwiderstand, wie ihn ein verschmutztes Eingangsfilter
verursachen könnte.
Die kurze Reaktionszeit des Proportionalventils und die Dynamik des
Sensors bestimmen die Ausregelzeit.

Der für den Massendurchfluss gemessene Wert wird über einen Digi-
talausgang (Feldbus) an ein externes Gerät übermittelt.

Um ein dynamisches oder ruhiges Istwert-Ausgangssignal
zu erhalten, lässt sich die Dämpfung des Ausgangssignals
mit der „Software Bürkert Communicator“ verändern. Siehe
Kapitel „12.3“.

Funktionsschema:

w

x

out

y

x

x

d

= w-x

Elektronik

Sensor

Proportionalventil

Mediumseingang

Mediumsausgang

Bild 2: Funktionsschema des MFC (Mass Flow Controller)

deutsch

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