INFICON SKY CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 34)

34 tina53d1-b (2010-07)
5 Ausbau
Voraussetzungen:
• Vakuumsystem belüftet
• Vakuumsystem abgekühlt auf <50 °C
5.1 Elektrischen Anschluss trennen
Messröhre ausser Betrieb setzen.
Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen.
5.2 Vakuumanschluss trennen
GEFAHR
GEFAHR: Heisse Oberfläche
Das Berühren der heissen Oberfläche (>50 °C)
kann zu Verbrennungen führen.
Das Produkt ausser Betrieb setzen und abkühlen
lassen
WARNUNG
WARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zer-
stören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver-
meiden.