INFICON SKY CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 6)

6 tina53d1-b (2010-07)
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemässer Gebrauch 4
Funktion 4
Marken 4
Patente 5
Lieferumfang 5
1 Sicherheit 8
1.1 Verwendete Symbole 8
1.2 Personalqualifikation 8
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 9
1.4 Verantwortung und Gewährleistung 9
2 Technische Daten 10
3 Einbau 16
3.1 Vakuumanschluss 16
3.2 Elektrischer Anschluss 20
4 Betrieb 23
4.1 Anzeigen 23
4.2 Messröhre abgleichen 24
4.3 Schaltfunktionen 29
4.4 Werkseinstellung laden (Factory Reset) 32
4.5 Diagnostik-Port (RS232C-Schnittstelle) 33
5 Ausbau 34
5.1 Elektrischen Anschluss trennen 34
5.2 Vakuumanschluss trennen 34
6 Instandhaltung, Instandsetzung 37
7 Produkt zurücksenden 37
8 Produkt entsorgen 38
9 Zubehör 39
Literatur 40