INFICON SKY CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 4)

4 tina53d1-b (2010-07)
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäss auch
für die anderen Vakuumanschlüsse.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal-
ten.
Bestimmungsgemässer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
Serien CDG160D und CDG200D sind Vakuum-Messröhren und
erlauben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unterschied-
lichen Messbereichen (
→ 3).
Die Messröhren gehören zu der Familie SKY
®
Smart Sensors
und können mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder
mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umge-
wandelt.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gas-
art.
Der auf konstant 160 °C oder 200 °C geheizte Sensor erlaubt
sehr genaue Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung
werden Umgebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Pro-
zessanwendungen wird die Ablagerung von Prozess- und Pro-
zessnebenprodukten reduziert. Ein integriertes Baffle schützt
den Sensor vor Beschichtung.
Marken
SKY ® INFICON GmbH
VCR ® Swagelok Marketing Co.