Vakuum-system, Anlage, seite 3, A) füllen des systems – Bronkhorst CEM Benutzerhandbuch
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Anlage, Seite 3
Vakuum-System
Vacuum
Liquid
1
4
3
5
6
8
10
11
9
MFC
Carrier
Processgas
Vacuum
7
LFM
Inertgassupply
2
Process
Vacuum
Valve
Heated
line
CEM
Liquid
Gas
A) Füllen des Systems:
Vorgang:Vorgehensweise:
Vorgehensweise:
A1) Evakuieren der Vakuum-Rohrleitungen.
Pumpen starten
A2) Evakuieren aller Rohrleitungen
Schließen: 2, 3, 5, 10 und 9.
Inertgas an den Trägergaseinlaß anschließen.
Öffnen: 1, 4, 7, 11.
Sollwert für Gas- und Flüssigkeitsregelung setzen
(Regelventile 6 und 8 offen).
Längere Zeit pumpen.
Hinweis: wenn das System nicht völlig trocken ist, verfahren
Sie wie unter E3, E4 (E5) angegeben
A3) Spülen der Rohrleitung zwischen
Inertgasquelle und Ventil 2
Schließen: 4.
Öffnen Sie Ventil 2 kurz für einige Sekunden.
A4) Spülen der Rohrleitung zwischen Prozeß
Gasquelle und Gas MFC
Geben Sie dem Flüssigkeitsmesser Sollwert 0
(6 schließt).
Öffnen Sie Ventil 9 kurz für einige Sekunden.
A5) Evakuieren von Flüssigkeits dämpfen
.
3 kurz öffnen und wieder schließen.
A6) Flüssigkeitsversorgung unter Druck setzen.
Schließen Sie 1, geben Sie der Inertgas-
Versorgung den richtigen Druck. Öffnen Sie 2,
öffnen Sie 3 kurz.
A7) Füllen von Flüssigkeit in das System
(1)
.
Während des Füllens des System lassen
in das Trägergasrohr fließen.
Schließen Sie 7.
Öffnen Sie 5 kurz, lassen Sie das
Mischventil auffüllen.
A8) Optional: Entgasung des Mischventils
Öffnen Sie 7. Um zu verhindern, daß zu viel Flüssigkeit
weggepumpt wird, eignet sich am besten ein Nadelventil.
A9) Das System ist nun betriebsbereit.