Bronkhorst CEM - Handbuch (Seite 16)

Anlage, Seite 4
B) Aufstart des Prozesses:
Vorgang: Vorgehensweise:
B1) Einstellen der CEM-Heizung auf die richtige
Temperatur
Geben Sie dem Temperaturregler einen Sollwert,
warten Sie, bis die Temperatur erreicht ist.
B2) Starten des Gasflusses.
(1)
Öffnen Sie 9. Geben Sie dem Gas-MFC einen Sollwert..
B3) Starten des Flüssigkeitsflusses. Geben Sie dem Flüssigkeitsregler einen Sollwert, warten Sie
bis zur Stabilisierung.
B4) Verbindung mit dem Prozeß. Öffnen Sie 10, schließen Sie 11.
C) Beenden des Prozesses
Vorgang: Vorgehensweise:
C1) Prozeß abschließen. Öffnen Sie 11, schließen Sie 10.
C2) Flüssigkeitsfluß stoppen. Geben Sie dem Flüssigkeitsregler den Sollwert 0.
C3) Optional: Gasfluß stoppen. (1) Geben Sie dem Gas-MFC den Sollwert 0.
D) Einstellung des Systems über Nacht:
Vorgang: Vorgehensweise:
D1: Versorgungsdruck von Flüssigkeits - zufuhr
und Rohrleitungen nehmen.
Schließen Sie 2, schließen Sie 5 und öffnen Sie 1 für einige
Sekunden.Nehmen Sie den Druck vor der Inertgasversorgung,
öffnen Sie 2.
D2) Das System wird nicht benutzt. Schließen Sie 3. Pumpen Sie vor allem die Rohrleitungen ab,
schließen Sie 2, öffnen Sie 1.
D3) Vor dem Start setzen Sie die
Flüssigkeitsversorgung unter Druck
Schließen Sie 1 und öffnen Sie 2.
Öffnen Sie 3 und 5.
D4) Das System ist betriebsbereit. Verfahren Sie wie unter B).
E) Leeren und Spülen des Systems:
(3,4)
Vorgang: Vorgehensweise:
E1) Befolgen Sie die Anweisungen„Einstellung
des Systems über Nacht“ bis „Das System
wird nicht benutzt“.
Siehe D1 und D2.
E2) Spülen der Flüssigkeit aus den
Rohrleitungen
Öffnen Sie 4 und 7.
E3) Spülen der Rohre mit Inertgas. Schließen Sie 1.
Öffnen Sie 2 für kurze Zeit.
E4) Evakuieren des Flüssigkeitssystems Schließen Sie 2, öffnen Sie 1. (wiederholen).
E5) Optional: Mehrmalige Wiederholung der
letzten 2 Schritte.
1 Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie vorzugsweise
immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird.
2 Schließen Sie während des Vorgangs den Versorgungsdruck im Flüssigkeitsbehälter. Der Druckregler
der Inertgas-Versorgung kann die Stabilität des Flüssigkeitsreglers beeinflussen.
3 Bei explosiven oder aggressiven Flüssigkeiten lassen Sie vorsichtshalber Luft und Wasserdampf ab,
bevor Sie das System mit Flüssigkeit befüllen.
4 Bei der Verwendung von explosiven, aggressiven, giftigen oder leicht entflammbaren
Flüssigkeiten versichern Sie sich, bevor Sie das System öffnen, ob es vollständig gespült wurde
(vorzugweise mit Inert-Flüssigkeit, E3, E4, E5).
Hinweise:
-
bei verunreinigten Flüssigkeiten muß ein Filter vor das Liqui-Flow-Gerät gesetzt werden.
- montieren Sie das CEM-System vertikal.