Überdruck-system, Anlage, seite 5, Befüllen des systems – Bronkhorst CEM Benutzerhandbuch
Seite 17: Vorgang: vorgehensweise
Anlage, Seite 5
Überdruck-System
Liquid
4
3
5
6
8
10
11
9
MFC
Carrier
Processgas
Atmospheric / waste
7
LFM
Inertgassupply
2
Process
Atmospheric / waste
Valve
Heated
line
CEM
Liquid
Gas
A)
Befüllen des Systems:
Vorgang:
Vorgehensweise:
A1) Spülen aller Rohrleitungen.
Schließen: 3, 5 und 10.
Schließen Sie das Inertgas an den Trägergas-Einlaß an.
Öffnen: 2, 4, 7, 9 und 11.
Geben Sie dem Gasregler einen Sollwert,
das Regelventil 8 öffnet sich.
Geben Sie dem Flüssigkeitsregler einen Sollwert.
Spülen Sie für längere Zeit.
A2) Unterdrucksetzen der
Flüssigkeitsversorgung.
Schließen Sie 4, geben Sie der Inertgas-
Versorgung den richtigen Druck.
Öffnen Sie 3..
A3) Befüllen des Systems mit Flüssigkeit.
(1)
Beim Befüllen des Systems muß Gasfluß im
Trägergasrohr sein.
Öffnen Sie kurz 5, befüllen Sie mit Mischventil 6.
Wenn keine Gasblasen mehr im System
vorhanden sind, schließen Sie 7.
A4) Das System ist nun betriebsbereit.
1 Versichern Sie sich, daß bei Flüssigkeitsfluß immer auch Trägergasfluß vorhanden ist. Lassen Sie
immer Gasfluß im Trägergasrohr, wenn das System mit Flüssigkeit befüllt wird.