Bronkhorst EX-FLOW Mass Flow - Handbuch (Seite 7)

BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
1 EIGENSICHERE SENSOREN
1.1 Allgemeine Beschreibung
Mit den Massendurchflußmessern für Gase
von Bronkhorst High-Tech B.V. können Gasflüsse
bis 700 bar genauestens gemessen werden,
und zwar nahezu unabhängig von Druck- und
Temperaturveränderungen.
Das System kann mittels Regelventil und flexibler
Anzeige für die Messung und Regelung von
Gasflüssen von 0 - 5 mln/min bis 1000 m3n/h
erweitert werden.
Model F-112AX
1.2 Funktionsweise des Durchflußsensors
Der Durchflußsensor von Bronkhorst High-Tech B.V. arbeitet nach dem Prinzip des Wärmetransports durch
Erfassung des ∆T entlang der beheizten Zone eines Kapillarrohres.
Das ∆T ist proportional zum Massen-Gasfluß. Die Wärmetransferfunktion zwischen Gasfluß und Temperatur
kann in folgender Gleichung ausgedrückt werden:
m p
c K T Φ ⋅ ⋅ = ∆
∆ T = Temperaturunterschied
cp = spezifische Wärme
K = konstanter Faktor
Φ m = Massendurchfluß
Die Temperatursensoren sind Teil einer Meßbrücke. Die Verschiebung des Abgleichs wird bis zum
normgerechten Signal verstärkt.
1.3 Sensoren und Laminaire Flowelemente
Die Durchflußsensoren von Bronkhorst High-Tech haben ein Kapillarrohr mit kleinem Durchmesser. Solche
Kapillaren benötigen einen Druckabfall unter atmosphärischen Bedingungen von ca. 35 mbar. Im Bypass
befindet sich ein Laminarflußelement bestehend aus einer Anzahl von Scheiben mit präzise geätzten
Durchflußkanälen.
Jede Scheibe repräsentiert einen Durchfluß von ca. 10 mln/min Luft bei 35 mbar.
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