INFICON Stripe CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar - Handbuch (Seite 10)

10 tina95d1 (2014-07)
2 Technische Daten
Messbereich → "Gültigkeit"
Genauigkeit
1)
0.1 … 0.5 F.S.
1 … 1100 F.S.
0.4% vom Messwert
0.2% vom Messwert
Temperatureinfluss auf Nullpunkt
0.1 … 0.5 F.S.
1 … 1100 F.S.
0.005% F.S./ °C
0.0025% F.S./ °C
Temperatureinfluss auf Bereich 0.02% vom Messwert / °C
Auflösung 0.003% F.S.
Gasartabhängigkeit keine
Ausgangssignal analog
(Messsignal)
Messbereich 0 … +10 V
Spannungsbereich –5 … +10.5 V
(begrenzt auf +10.5 V)
Beziehung Spannung-Druck linear
Ausgangsimpedanz 0 Ω (kurzschlussfest)
Lastimpedanz >10 k Ω
Sprungantwortzeit
2)
analoges Ausgangssignal
digitales Ausgangssignal
(EtherCAT-Schnittstelle)
≤1 ms
≤2 ms
Identifikation
Widerstand R
Ident
Spannung
13.2 k
Ω gegen Speisungserde
≤5 V
Remote Zero Adjust
Externer Schaltkontakt
Digitaler Eingang für den
Nullpunktabgleich (
→  25)
30 V (dc) / <5 mA (dc)
1)
Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit bei 25 °C Um-
gebungstemperatur ohne Temperatureinfluss nach 2 h Betrieb.
2 )
Anstieg 10 … 90 % F.S.R.