INFICON Stripe CDG100Dhs 0.1 ... 1000Torr / mbar Benutzerhandbuch
Seite 6
6
tina95d1 (2014-07)
Inhalt
Produktidentifikation 2
Gültigkeit 3
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
4
Funktion 4
Marken 4
Patente 5
Lieferumfang 5
1
Sicherheit 8
1.1
Verwendete Symbole
8
1.2
Personalqualifikation 8
1.3
Grundlegende Sicherheitsvermerke
9
1.4
Verantwortung und Gewährleistung
9
2
Technische Daten
10
3
Einbau 16
3.1
Vakuumanschluss 16
3.2
Elektrischer Anschluss
20
3.2.1
Stecker D-Sub, 15-polig
21
3.2.2
Stecker EtherCAT
22
3.2.3
Stecker Mini-USB Typ B (Diagnostik-Port)
23
4
Betrieb 24
4.1
Anzeigen 24
4.2
Messröhre abgleichen
25
4.3
Schaltfunktionen SP1, SP2
29
4.4
Fehler Status
34
4.5
ATM-Schaltpunkt 34
4.6
Werkseinstellung laden (Factory Reset)
36
4.7
Diagnostik-Port (USB-Schnittstelle)
37
4.8
EtherCAT-Betrieb 38
5
Ausbau 39
5.1
Elektrischen Anschluss trennen
39
5.2
Vakuumanschluss trennen
39
6
Instandhaltung, Instandsetzung
42