INFICON SKY CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar - Handbuch (Seite 10)

10 tina52d1-d (2014-02)
2 Technische Daten
Weitere technische Daten für Messröhren mit
DeviceNet-, Profibus-, oder EtherCAT-Schnittstelle
→  [5], [6], [7].
Messbereich → "Gültigkeit"
Genauigkeit
1)
≤0.5 Torr/mbar F.S.
≥1 Torr/mbar F.S.
0.4% vom Messwert
0.2% vom Messwert
Temperatureinfluss auf Nullpunkt
≤0.5 Torr/mbar F.S.
≥1 Torr/mbar F.S.
0.0050% F.S./ °C
0.0025% F.S./ °C
Temperatureinfluss auf Bereich 0.02% vom Messwert / °C
Auflösung
0.003% F.S.
Gasartabhängigkeit keine
Ausgangssignal analog
(Messsignal)
Messbereich 0 … +10 V
Spannungsbereich –5 … +10.24 V
(begrenzt auf +10.24 V)
Beziehung Spannung-Druck linear
Ausgangsimpedanz 0 Ω (kurzschlussfest)
Lastimpedanz >10 k Ω
Ansprechzeit 2)
≥0.25 Torr/mbar (F.S.)
0.1 Torr/mbar (F.S.)
30 ms
130 ms
Identifikation
Widerstand R
Ident
Spannung
13.2 k
Ω gegen Speisungserde
≤5 V
1)
Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholgenauigkeit im kalibrierten Bereich
bei 25 °C Umgebungstemperatur ohne Temperatureinfluss nach 2 h
Betrieb.
2)
Anstieg 10 … 90 % F.S.R.