3 einbau, 1 vakuumanschluss – INFICON SKY CDG100D 0.1 ... 1000 Torr / mbar Benutzerhandbuch
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tina52d1-d (2014-02)
3 Einbau
WARNUNG
WARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zer-
stören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver-
meiden.
3.1 Vakuumanschluss
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va-
kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum-
fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtun-
gen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr stand-
halten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.