INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
Seite 11
tina83d1-a (2014-02)
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Ausgangsimpedanz
2 × 4.7
Ω, kurzschlussfest
Lastimpedanz
≥10 k
Ω, kurzschlussfest
Sprungantwortzeit
p > 10
-6
mbar
p = 10
-8
mbar
druckabhängig
<100 ms
≈
1 s
Messröhrenidentifikation
3MAx-xxx-0x0N
3MAx-xxx-0x0Q
3MBx-xxx-0x0P
–
100 k
Ω gegen Speisungserde
85 k
Ω gegen Speisungserde
Statussignal (Digitalausgang)
Belastbarkeit 100
mA
Hochspannung ist EIN
+14.5 … +30 V (dc) (abhängig
von Versorgungsspannung)
Hochspannung ist AUS
0 V (dc)
Hochspannungseinschaltung, low aktiv, Pin 7 (Digitaleingang)
einschalten
ausschalten
<2.5 V (dc)
>4.0 V (dc)
Hochspannungseinschaltung, high aktiv, Pin 8 (Digitaleingang)
einschalten
ausschalten
>11.0 V (dc)
< 5.0 V (dc)
Speisung
GEFAHR
Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messge-
räte angeschlossen werden, die den Anforderun-
gen der geerdeten Schutzkleinspannung (SELV)
und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung
(LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur
Messröhre ist abzusichern.
1)
1)
INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.