INFICON Gemini ATM to Ultra-High Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 33)

tina83d1-a (2014-02) 33
Messprinzip, Messverhalten
Die Messröhre enthält zwei separate Messsysteme (Pirani-
Messsystem und Kaltkathoden-Messsystem nach dem Prinzip
des invertierten Magnetrons). Deren Signale sind so miteinander
verknüpft, dass ein Ausgangssignal zur Verfügung steht.
Es wird die für den jeweiligen Druckbereich optimale Messkonfi-
guration verwendet:
10 -3 mbar
10 -2 mbar
1000 mbar
1×10 -9 mbar
Kaltkathode Pirani
• Der Pirani-Messkreis ist immer eingeschaltet
• Der durch den Pirani-Messkreis gesteuerte Kaltkathoden-
Messkreis wird erst bei Drücken p < 1×10
-2
mbar aktiviert
Solange der Kaltkathoden-Messkreis nicht gezündet hat, gibt der
Signalausgang den reinen Pirani-Messwert wieder.
4.5 Gasartabhängigkeit
Das Messsignal ist gasartabhängig. Der Messwert gilt für
trockene Luft, O
2
, CO und N
2
. Für andere Gase ist er umzu-
rechnen:
• (MAG50x →  18)
• (MPG50x →  20).
Wird die Messröhre mit einem INFICON-Messgerät betrieben,
kann für diese Fälle ein Kalibrierfaktor zur Korrektur des ange-
zeigten Messwerts eingegeben werden (
→  des entsprechen-
den Messgeräts).