Inbetriebnahme, Hinweis – VACUUBRAND HP 63B2 Benutzerhandbuch

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Reihenfolge, Druckangaben und Zeitangaben unbedingt einhalten.

Einschalten des Pumpstands

(Pumpe und Rezipient haben Atmosphärendruck)

➨

Vorvakuumventil (V1) öffnen. Bypassventil (V2), Hochvakuumventil (V3) und Be-

lüftungsventil (V4) schließen.

➨

Vorpumpe (Drehschieberpumpe RZ 2.5 oder RZ 6) einschalten, Öldiffusions-

pumpe einschalten.

☞

Die Öldiffusionspumpe lässt sich nur zuschalten, wenn die Vorpumpe in Betrieb

ist.

➨

Vorvakuumventil (V1) nach der Anheizzeit (ca. 15 Minuten) und unterhalb eines

Vorvakuumdrucks (M1) < 0.1 mbar schließen.

➨

Bypassventil (V2) öffnen.

➨

Bypassventil (V2) bei Kammerdruck < 0.1 mbar schließen.

➨

Vorvakuumventil (V1) öffnen.

➨

Hochvakuumventil (V3) öffnen.

☞

Achtung: Erfolgt ein Druckanstieg über 0.1 mbar in der Vorvakuummessleitung

(M1), Hochvakuumventil (V3) schließen und mit der Vorpumpe wieder unter 0.1

mbar evakuieren.

☞

Setzt der Thermoschutzschalter die Drehschieberpumpe außer Betrieb, un-

bedingt Hochvakuumventil (V3) schließen und Diffusionspumpe ausschal-

ten!

Belüften des Rezipienten

➨

Hochvakuumventil (V3) schließen.

➨

Bypassventil (V2) schließen (falls nicht geschlossen).

➨

Belüftungsventil (V4) öffnen.

Erneutes Evakuieren

➨

Belüftungsventil (V4) schließen.

➨

Vorvakuumventil (V1) schließen.

➨