Bronkhorst CEM - Handbuch (Seite 7)

9.19.010 Seite 7
BRONKHORST HIGH-TECH
1 Einführung
1.1 Allgemeines
Mit dem CEM-System von Bronkhorst High-Tech können
Massendurchflußregelungen von Dämpfen und Gemischen, die bis zu
1000 g/h Dampf enthalten, durchgeführt werden.
Das komplette System ist eine Kombination aus Mischventil, Heizung,
Flüssigkeitsmesser mit Regelfunktion und Massendurchflußregler für
das Trägergas. Der Flüssigkeitsfluß durch den Flüssigkeitsmesser wird
durch das Mischventil geregelt. Ein vollständiges System beinhaltet
außerdem eine Auswerte-/Regeleinheit mit Spannungsversorgung für
den Betrieb der verschiedenen Geräte des CEM-Systems.
1.2 Funktionsweise
Die Abkürzung „CEM“ steht für:
„C“ die Regelung des Flusses einer Gasmischung, eines Gases, einer Flüssigkeit oder
Flüssigkeits-/Gasmischung,
„E“ die Verdampfung des Flusses einer Flüssigkeits-/Gasmischung durch eine
temperaturgeregelte Heizung,
„M“ die Mischung eines Gases und einer Flüssigkeit (Dampf).
Bei Raumtemperatur wird die Flüssigkeit, z.B. Wasser oder TEOS, aus einem Vorratsbehälter mit Inertgas-Polster
oder einer Membrane abgezogen und von einem Massendurchflußmesser für Flüssigkeiten der Modellreihen µ-
FLOW* oder LIQUI-FLOW*gemessen. Die Regelung des Durchflusses auf den Sollwert erfolgt durch ein Regelventil,
das ein integrierter Bestandteil des „CEM“-Systems ist.
Ein von einem Massendurchflußregler* geregeltes Trägergas wird verwendet, um den Verdampfungsprozess als
Mischkomponente anzuregen und außerdem, um den Dampf weiterzuleiten.
Der Vorgang zeichnet sich durch hohe Reproduzierbarkeit und Genauigkeit aus.
Die völlige Verdampfung der Flüssigkeit erfolgt im Verdampfer.
* Bitte beachten Sie die entsprechenden Bedienungsanleitungen für diese Geräte.
1.3 CEM-Aufbau
Das „CEM“-System besteht aus drei verschiedenen Teilen; einem
Regelventil, einem Mischgerät und einem Wärmetauscher, in dem der
Flüssigkeitsmischung zur Verdampfung und zur Verhinderung von
Kondensation Wärme zugefügt wird. Die Temperatur des
Wärmetauschers wird durch einen Temperaturregler geregelt, der in der
Auswerte- und Regeleinheit enthalten ist.