2 teilstrombetrieb, Teilstrombetrieb 5-2 – INFICON Helium Leak Detector Modul1000 Benutzerhandbuch
Seite 33
Betriebsarten
5-2
jinb
80
d1
-h
Tech
ni
sch
es H
a
ndb
uch
(1
01
2)
5.2
Teilstrombetrieb
Um das effektive Saugvermögen an der Vakuumkammer oder dem Prüfling zu erhö-
hen, kann ein externes Teilstromventil an den Ventilausgang V20 angeschlossen
werden. Das erhöhte Saugvermögen beschleunigt Evakuierungsvorgänge und die
Signalansprechzeit des Modul1000.
Je nach Einstellung kann die Teilstrompumpe über ein externes Teilstromventil
wahlweise nur beim Evakuieren oder beim Evakuieren und Messen zugeschaltet
werden.
Wenn die Teilstrompumpe auch beim Messen zugeschaltet wird, muss das Saugver-
mögen der Teilstrompumpe für Helium berücksichtigt werden, indem der Maschinen-
faktor entsprechend eingestellt wird (siehe Kapitel 6.9). Es wird außerdem eine
externe Kalibrierung empfohlen (siehe Kapitel 6.6).
Zum schnellen Belüften kann ein zusätzliches externes Belüftungsventil V21 ange-
schlossen werden.
Abb. 5-1 Teilstrombetrieb
Pos.
Beschreibung
Pos.
Beschreibung
V20
Teilstromventil
V21
Belüftungsventil