INFICON Helium Leak Detector Modul1000 - Handbuch (Seite 50)

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Betrieb
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6.8 Kalibrieren im Autoleaktest
Es sind 4 Arten der Kalibrierung wählbar:
• intern automatisch
• intern manuell
• extern automatisch
• extern manuell
Für eine externe Kalibrierung ist ein separates Testleck erforderlich, das an der
Kammer angebracht wird.
Bei Teilstrombetrieb sollte immer eine externe Kalibrierung durchgeführt werden.
Ablauf der Kalibrierung:
1 Testleck manuell öffnen bzw. öffnet automatisch,
2 evakuieren,
3 stabiles Signal bei manueller Kalibrierung bestätigen,
4 Autotune (Abgleich auf maximale Empfindlichkeit),
5 belüften,
6 evakuieren, nach Ablauf der Messzeit Signal bei geöffnetem Testleck übernehmen,
7 belüften,
8 Testleck schließen, evakuieren, nach Ablauf der Messzeit Untergrundsignal
übernehmen,
9 belüften
6.9 Kalibrieren im Commander-Betrieb
Bei der Kalibrierung wird die Testgasversorgung nicht aktiviert.
Es sind 4 Arten der Kalibrierung wählbar:
• intern automatisch
• intern manuell
• extern automatisch
• extern manuell
Für die ext. Kailbrierung ist ein separates Testleck erforderlich, das an der Kammer
angebracht wird.
Der Ablauf der Kalibrierung ist wie im Vakuumbetrieb.