2 die, Funktionsweise, Des protec p3000 – INFICON Protec P3000(XL) Helium Leak Detector Benutzerhandbuch

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Die Funktionsweise des Protec P3000

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Die Funktionsweise des Protec P3000

2.1

Funktionsbeschreibung

Der Protec P3000 kann das durch die Schnüffelleitung angesaugte Helium mittels
eines heliumempfindlichen Sensors nachweisen und die quantitative Leckrate
darstellen.

Der Protec P3000 besteht im Wesentlichen aus folgenden Baugruppen:

Ein Wise-Technology-Sensor als Helium-Detektor

Ein Ventilhalter für die Steuerung verschiedener Betriebszustände

Eine Membranpumpe für das Pumpen des Gases zum Sensor

Ein Einlasssystem für den Gasstrom

Die entsprechenden elektrischen und elektronischen Baugruppen für die
Stromversorgung und die Signalverarbeitung.

Der Detektor arbeitet unter Hochvakuumbedingungen, d. h. der Betriebsdruck muss
am Detektor bei einigen 100 mbar liegen. Der Unterdruck wird durch eine
Membranpumpe erzeugt. Der Druck vor dem Sensor wird mit einem piezoresistiven
Druckmessgerät gemessen und liegt bei circa 250 mbar unterhalb der normalen
Betriebsbedingungen.

2.2

Beschreibung der Unterbaugruppen

2.2.1

Vorvakuumpumpe

Als Vorvakuumpumpe im Protec P3000 dient eine Membranpumpe. Alle Daten und
weitere Angaben zu dieser Pumpe können der Gebrauchsanleitung entnommen
werden. Die Vorpumpe erzeugt den Gasstrom durch die SL3000 Schnüffelleitung.

2.2.2

Wise Technology

TM

Sensor

Der Helium-Detektor (Wise Technology

TM

-Sensor) besteht aus einem

geschlossenen Glasgehäuse mit einem Messgerät für die genaue Bestimmung des
Drucks im Inneren des Glasgehäuses und einem Membranblättchen mit einer
großen Anzahl an kleinen Quarzfenstern. Die Membran ist nur für Helium
durchlässig, alle anderen Bestandteile in der Luft werden durch die Membran und
vom Inneren des Glasgehäuses zurückgehalten. Die Quarzmembran ist erhitzt,
sodass die Durchlässigkeit für Helium ausreichend hoch und schnell ist.

Im Inneren des Glasgehäuses wird der Gesamtdruck genau gemessen. Da nur
Helium in das Glasgehäuse eindringen kann, entspricht der Gesamtdruck dem
partiellen Druck des Heliums. Der festgestellte Gesamtdruck im Inneren des
Gehäuses ist proportional dem partiellen Heliumdruck außerhalb des Sensors.

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