INFICON PSG55x ATM to Medium Vacuum Gauge - Handbuch (Seite 10)

10 tina60d1-a (2011-04)
2 Technische Daten
Weitere technische Daten für Messröhren mit serieller
Schnittstelle → [3], [4], [5].
Messprinzip Wärmeleitung nach Pirani
Messbereich 5×10
-5
… 1000 mbar
Genauigkeit (N
2
)
5Ч10 -4 … 1Ч10 -3 mbar
±50% des
Messwertes
1×10 -3 … 100 mbar ±15% des Messwertes
100 … 1000 mbar ±50% des Messwertes
Auflösung (bei 1000 mbar) ±0.15% des Messwertes
Wiederholbarkeit (N
2
)
1×10
-3
… 100 mbar
±2% des
Messwertes
Ausgangssignal (Messsignal)
Spannungsbereich
3PIx-0xx-xxx0
0 … +10 V
3PIx-0xx-xxx1 0 … +8.5 V
3PIx-0xx-xxx2 0 … +5.529 V
3PIx-0xx-xxx3 0 … +8.875 V
Messbereich
3PIx-0xx-xxx0
+0.61 … +10 V
3PIx-0xx-xxx1 +1.2 … +8.5 V
3PIx-0xx-xxx2 +0.375 … +5.529 V
3PIx-0xx-xxx3 +1.57 … +8.875 V
Fehlersignal 0 … 0.5 V
Beziehung Spannung-Druck
3PIx-0xx-xxx0
1.286 V/Dekade,
logarithmisch
3PIx-0xx-xxx1 1 V/Dekade, logarithmisch
3PIx-0xx-xxx3 1 V/Dekade, logarithmisch
3PIx-0xx-xxx2 →  20