1 beziehung messsignal – druck, P = 10, U = c +1.286log – INFICON PSG55x ATM to Medium Vacuum Gauge Benutzerhandbuch
Seite 18: Gültig im bereich 5×10, Mbar <p< 1000 mbar, Druck p, Messsignal u [v
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18
tina60d1-a (2011-04)
2.1
Beziehung Messsignal – Druck
Messbereich 0.61 … 10 V
O
Druck p
mbar
Pa
Torr
Messsignal U [V]
F
ehl
er
0.0
0.61
3.0
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
4.0
3.5
5.0
4.5
6.0
5.5
7.0
6.5
8.0
7.5
9.0
8.5
10.0
9.5
10.5
1E+05
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E+06
1E–05
p = 10
0.778(U-c)
⇔
U = c +1.286log
10
p
gültig im Bereich
5×10
-5
mbar <p< 1000 mbar
U p
c
U p
c
[V] [mbar]
6.143
[V] [micron]
2.448
[V] [µbar]
2.287
[V] [Pa]
3.572
[V] [Torr]
6.304 [V] [kPa]
7.429
[V] [mTorr]
2.448
wobei p Druck
U Messsignal
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)
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