3 einbau, 1 vakuumanschluss – INFICON Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar Benutzerhandbuch
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tina86d1 (2013-11)
3 Einbau
WARNUNG
WARNUNG: Bruchgefahr
Schläge können den keramischen Sensor zer-
stören.
Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver-
meiden.
GEFAHR
GEFAHR: Heiße Oberfläche (nur CDG100D2 und
Betriebstemperatur >40°C)
Das Berühren der heißen Oberfläche (>65 °C)
kann zu Verbrennungen führen.
Heiße Teile gegen unabsichtliches Berühren schüt-
zen und Warnhinweis anbringen.
3.1 Vakuumanschluss
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va-
kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum-
fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.