INFICON Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar - Handbuch (Seite 4)

4 tina86d1 (2013-11)
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
Serien CDG045D2 und CDG100D2 sind Vakuum-Messröhren
und erlauben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unter-
schiedlichen Messbereichen (
→  3).
Die Messröhren gehören zu der Familie SKY
®
Smart Sensors
und können mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder
mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umge-
wandelt.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gas-
art.
Der auf konstant 45 °C oder 100°C geheizte Sensor erlaubt sehr
genaue Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung wer-
den Umgebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozess-
anwendungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozess-
nebenprodukten reduziert. Ein integriertes Baffle schützt den
Sensor vor Beschichtung.
Marken
SKY
®
INFICON GmbH
VCR ® Swagelok Marketing Co.
Patente
EP 1070239 B1, 1040333 B1
US Patente 6528008, 6591687, 7107855, 7140085