INFICON Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar Benutzerhandbuch
Seite 17
tina86d1 (2013-11)
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GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar
Bei KF-Anschlüssen können elastomere Dichtun-
gen (z. B. O-Ringe) dem Druck nicht mehr stand-
halten. Dies kann zu Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
O-Ringe mit einem Außenzentrierring verwenden.
GEFAHR
GEFAHR: Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten
Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung
muss den Anforderungen einer Schutzverbindung
nach EN 61010 entsprechen:
• CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser
Forderung.
• Für KF-Anschlüsse ist ein elektrisch leitender
Spannring zu verwenden.
• Beim ½"-Rohr ist diese Anforderung durch ge-
eignete Maßnahmen zu erfüllen.
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die
Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re-
geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung beachten.