Bronkhorst IN-FLOW - Handbuch (Seite 16)

BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
Seite 16 9.19.022
1.5 Sensoren und laminare Flowelemente
Flowelemente werden verwendet, um den Meßbereich eines Gasflußmessers oder -reglers festzulegen.
Beachten Sie, daß Flüssigkeitssensoren, CTA basierende Sensoren und Drucksensoren kein Flowelement
benötigen.
Je nach Anwendung haben die Durchflußsensoren verschiedene austauschbare Kapillaren, die
unterschiedliche laminare Flowelemente erforderlich machen.
Außerdem wird für Durchflußraten über 1250 ln/min das laminare Flowelement im Hauptstrom mit einer
Anordnung aus Kapillare und Flowelement kombiniert, um die nicht ideale Durchflußkennlinie des Haupt-
Flowelementes zu kompensieren.
Grundsätzlich sind 3 Typen von Kapillaren zu unterscheiden:
- Kleiner Durchmesser (C-Typ)
Zu diesem Sensortyp ist folgendes zu bemerken:
- Sie haben einen Druckabfall von ca. 35 mbar über der Sensor.
- Das laminare Flowelement besteht aus einer Reihe von Scheiben mit präzise
geätzten Durchflußkanälen. Jeder Durchflußkanal entspricht einer Luftströmung von
ca. 10 mln/min bei einem DeltaP von 35 mbar.
- Bei COMBI-FLOW-Anwendungen und bei allen Geräten mit einer Druckrate von
100 bar (M-Typ) ist der Sensor mit Metalldichtungen versehen.
- Im allgemeinen können Geräte mit diesen Sensoren bei niedrigen Betriebsdrücken
horizontal oder vertikal montiert werden. Bei höheren Drücken (>10 bar) sollte das
Gerät in horizontaler Lage montiert werden (COMBI-FLOW vertikal).
- Großer Durchmesser (D-Typ)
Zu diesem Sensortyp ist folgendes zu vermerken:
- Sie werden vorzugsweise für reaktive Gase und bei niedrigen Drücken verwendet.
- Der Druckverlust ist kleiner 0,5 mbar.
- Das laminare Flußelement bildet zusammen mit dem Hauptkanal einen ringförmigen
Querschnitt. Die Maße dieses Ringkanals bestimmen den Meßbereich des Gerätes.
- Das Gerät muß immer in horizontaler Lage montiert werden.
- Medium Durchmesser (E-Typ)
Dieser Sensortyp wird verwendet im “EL-FLOW Serien“ um der Durchfluss (des “low DeltaP serien“) zu
erhöhen. Da gelten dieselbe Bemerkungen wie die D-Typ Sensor, nur:
- Der Druckverlust ist ca. 2,5 mbar.