Bronkhorst IN-FLOW - Handbuch (Seite 32)

BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
Seite 32 9.19.022
7.2 Fehlersuchtabelle, allgemein
Symptom mögliche Ursache Aktion
kein Ausgangssignal Keine Spannungsversorgung 1a) Prüfen der Spannungsversorgung
1b) Prüfen des Kabelanschlusses
Ausgangsstufe ausgefallen
infolge längeren Kurzschlusses
und/oder Hochspannungsspitzen
1c) zurück ans Werk
Gasdruck zu hoch oder Differenzdruck
am Gerät zu hoch
1d) Vordruck senken
Ventil verstopft / kontaminiert 1e) schließen Sie 0..15 Vdc an das
Ventil an und erhöhen Sie langsam die
Spannung, während der Anschlußdruck
ansteht. Das Ventil sollte bei
7V G 3V geöffnet sein; wenn nicht,
Teile reinigen und Ventil justieren
(nur geschultes Personal)
Sieb am Einlaß verstopft 1f) reinigen Sie das Sieb
Sensor-/Kapillarausfall 1g) zurück ans Werk
Max. Ausgangssignal Ausgangsstufe ausgefallen 2a) zurück ans Werk
Sensor-/Kapillarausfall 2b) zurück ans Werk
Ausgangssignal viel niedriger
als Sollwert-Signal oder
gewünschter Durchfluß
Sieb verstopft /kontaminiert 3a) Sieb reinigen
LFE verstopft/kontaminiert;
und/oder Flüssigkeit im Gerät
3b) LFE entfernen und reinigen, Gerät mit
Luft oder N2 trocknen
Ventil verstopft/kontaminiert 3c) Ventil reinigen
Ventil im Innern beschädigt
(gequollener Sitz im Kolben)
3d) Teile austauschen und Ventil justieren
oder zurücksenden
Falsche Gasart und/oder
Druck/Differenzdruck
3e) prüfen Sie das Gerät unter
Bedingungen, für die es ausgelegt wurde
Durchfluß läßt allmählich nach Kondensation, geschieht bei NH3,
Hydrokarbonen wie. C H ,C H
3 8 4 10
usw.
4a) Vordruck reduzieren und/oder Gas
erwärmen
Ventiljustage hat sich verändert 4b) siehe 1e
Oszillation Anschlußdruck/Differenzdruck zu hoch 5a) Druck herabsetzen
Rohrleitung zwischen Druckregler und
MFC zu kurz
5b) Länge oder Durchmesser der
Eingangsrohrleitung erhöhen
Druckregler schwingt 5c) Druckregler ersetzen oder 5b versuchen
Schäden an der Ventilhülse oder im
Innern
5d) defekte Teile ersetzen und Ventil
justieren, siehe 1e oder zurück an Werk
Reglerjustage falsch 5e) Regler justieren
kleiner Durchfluß bei Sollwert 0 Ventilleckagen infolge von defektem
Kolben oder Schmutz in Ventildüse
6a) Düse reinigen und beim
Zusammenbau 1e beachten
Druck zu hoch oder viel zu niedrig 6b) richtigen Druck anwenden
Anmerkung: Bei anderen (mehr spezifischen) lesen Sie bitte die Fehlersuchtabellen in anderen Dokumenten.