K-Patents PR-33-AC - Handbuch (Seite 52)

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B B C C A A
Niedrige Konzentration Hohe Konzentration
Abbildung 10.2 Optisches Abbild
Die Position der Grenzlinie wird digital mit einem CCD-Element (Abbildung 10.3)
ermittelt und dann von einem Prozessor innerhalb des Geräts in einen Brechungsindex-
Wert n
D
konvertiert. Danach wird dieser Wert zusammen mit der gemessenen
Prozesstemperatur benutzt, um die Konzentration zu berechnen.
a. Optisches Abbild
b. CCD-Element
c. CCD-Ausgang
V
Abbildung 10.3 Bestimmung sed optischen Abbildes