Bestimmungsgemäßer gebrauch, Funktion, Marken – INFICON Cube CDGsci Benutzerhandbuch
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tina88d1-b (2014-09)
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Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF. Sie gelten sinngemäß auch
für die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal-
ten.
Bestimmungsgemäßer
Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
Serie CDGsci sind Vakuum-Messröhren und erlauben die Abso-
lutdruck-Messung von Gasen in unterschiedlichen Messberei-
chen.
Funktion
Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umge-
wandelt.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gas-
art.
Der auf konstant 45°C geheizte Sensor erlaubt sehr genaue
Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung werden Um-
gebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Prozessanwen-
dungen wird die Ablagerung von Prozess- und Prozessneben-
produkten reduziert.
Marken
SKY
®
INFICON
GmbH
VCR
®
Swagelok Marketing Co.
Cube™ INFICON
GmbH
Windows CE Microsoft