INFICON T-Guard Leak Detection Sensor - Handbuch (Seite 15)

Beschreibung
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3.3 Vakuumschema
Oben im Vakuumdiagramm befinden sich der Messeingang "IN" und der
Referenzeingang "Ref". An beide Eingänge wird ein Filter angeschlossen, um den T-
Guard™ Sensor zur Dichtheitsprüfung vor eingesaugtem Staub und Flüssigkeiten zu
schützen. Im T-Guard™ Sensor zur Dichtheitsprüfung befinden sich drei Ventile
(siehe
Fig. 3-5 ).
Ventil V1 öffnet und schließt den Messeingang. Ventil V3 öffnet und schließt den
Referenzeingang. Ventil V2 öffnet und schließt die Verbindung zwischen V1 und V3.
Von diesen drei Ventilen führen zwei flussbegrenzte Kapillaren zu dem Wise
Technology™ Sensor.
Der obere Eingang des Wise Technology™ Sensors ist der feine Eingang, der untere
ist der grobe Eingang, der gegenüber Helium weniger empfindlich ist als der feine
Eingang.
Der Wise Technology™ Sensor erkennt das Helium in dem Gasstrom, der an ihm
vorbeifließt. Der Gesamtdruck, der an den Wise Technology™ Sensor angelegt wird,
wird von dem Druckmesser p1 ermittelt.
Die Vorpumpe, die für den Gasstrom im T-Guard™ Sensor zur Dichtheitsprüfung
sorgt, wird gedrosselt, um einen konstanten Druck und Fluss am Wise Technology™
Sensor zu erzeugen.
Fig. 3-5 Vakuumdiagramm des T-Guard™ Sensor zur Dichtheitsprüfung
Item Beschreibung Item Beschreibung
1 Eingang "IN" 8 Druckmesser p1
2 Referenz “Ref” 9 Pumpe
3 Filter 2 10 Pumpenanschluss "AUS"
4 Ventil V
3
11 Drossel 3
5 Ventil V
2
12 Drossel 1
6 Drossel 2 13 Ventil V
1
7 Wise Technology™ Sensor 14 Filter 1