INFICON T-Guard Leak Detection Sensor - Handbuch (Seite 20)

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Beschreibung
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Bei der GROB-Messung sind V1 und V3 offen, V2 ist geschlossen (siehe Fig. 3-10 ).
So bekommt der Wise Technology™ Sensor nur wenig Helium aus der Messleitung
und normalerweise noch weniger Helium aus der Referenzleitung.
Andere Ventilkonfigurationen als die oben beschriebenen werden nicht von der
Software verwendet und können nicht vom Benutzer eingestellt werden.
Fig. 3-10 Ventilstellung bei GROB
Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung
1 Eingang "IN" 8 Druckmesser p1
2 Referenz “Ref” 9 Pumpe
3 Filter 2 10 Pumpenanschluss "AUS"
4 Ventil V
3
11 Drossel 3
5 Ventil V
2
12 Drossel 1
6 Drossel 2 13 Ventil V
1
7 Wise Technology™ Sensor 14 Filter 1