INFICON T-Guard Leak Detection Sensor - Handbuch (Seite 19)

Beschreibung
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Bei der FEIN-Messung sind V1 und V2 offen, V3 ist geschlossen (siehe Fig. 3-9 ). Der
Sensor bekommt nur das Gas aus dem Messeingang und zeigt die höchste Empfind-
lichkeit für Helium, das von der Messleitung kommt.
Fig. 3-9 Ventilstellung bei FEIN
Pos. Beschreibung Pos. Beschreibung
1 Eingang "IN" 8 Druckmesser p1
2 Referenz “Ref” 9 Pumpe
3 Filter 2 10 Pumpenanschluss "AUS"
4 Ventil V
3
11 Drossel 3
5 Ventil V
2
12 Drossel 1
6 Drossel 2 13 Ventil V
1
7 Wise Technology™ Sensor 14 Filter 1