K-Patents PR-33-S - Handbuch (Seite 32)

28 PR-33-S instruction manual
Dokument/Revision Nr. Rev. 1.3 Mit Wirkung vom: 5. März 2014
6 Regelmäßige Wartung
6.1 Vorbeugender Austausch des O-Rings in der EKC265-Anwen-
dung
Das chemische Lösungsmittel EKC265 auf Aminbasis ist für die Entfernung von Ätzrück-
ständen vom Wafer ausgelegt. Das Semicon-Prozessrefraktometer von K-Patents wird
sehr häufig für die Überwachung des Wassergehalts des Lösungsmittels eingesetzt.
Feldstudien und Erfahrungen haben gezeigt, dass der O-Ring zwischen dem Refraktom-
eter-Instrumentengehäuse und der Durchflusszelle in EKC265 eine begrenzte Lebens-
dauer hat. Das aktuelle Standardmaterial für den O-Ring ist ein Kalrez-6375-Perfluore-
lastomer, das von Dupont hergestellt wird, und dieses Material weist nach 6 Monaten
Benutzung eine Schwellung auf. Ein vorbeugender Austausch des O-Rings PR9252 alle
6 Monate im Rahmen der Wartung stellt die Zuverlässigkeit der Geräte sicher und
verhindert ein Ausfallen des O-Rings.
O-ring
PR-9252