Burkert Type 8715 - Handbuch (Seite 8)

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Systembeschreibung
Typ 8700, 8701, 8703, 8705
5.1.2. allgemeine Funktionsweise des
mFc, mass Flow controller
Der MFC besteht aus:
• einem Sensor, der den Massendurchfluss misst,
• einer Regelelektronik,
• einem Regelelement: reibungsarmes Proportionalventil mit hoher
Ansprechempfindlichkeit.
5.2. Funktionsweise des sensors
eines mFm oder eines mFc
• Die integrierten Massendurchflusssensoren ermitteln den
Massendurchfluss nach dem Prinzip der thermischen
Messung (anemometrisch oder kalorimetrisch). Sie bestehen
im Wesentlichen aus einem Heizwiderstand und einem
Temperaturfühler. Das durch das Gerät strömende Gas
verändert die gemessenen Temperaturdifferenz zwischen beiden
Widerständen.
• Anhand der thermischen Messung kann der MFC den
erforderlichen Massendurchfluss unbeeinflusst von Druck- und
Temperaturänderungen der betreffenden Anwendung regeln.
Um ein dynamisches bzw. ruhiges Istwert-Ausgangssignal
zu erhalten, lässt sich die Dämpfung des Ausgangssignals
mit der „Software Mass Flow Communicator“ verändern
(siehe Kapitel 10.1.3).
Bei den MFC der Typen 8710, 8711, 8713, 8715
müssen wegen der integrierten Sensortechnologie im Fall
verunreinigter Fluide vor dem Gerät Filter eingebaut werden.
5.3. Funktionsweise eines mFc im
Detail
w
x
out
y
x
x
d
= w-x
Regelelektronik
Sensor Regelelement
(Magnetventil)
Mediumseingang
Mediumsausgang
Bild 1: Funktionsprinzip des Mass Flow Controller
D i e R e g e l e l e k t r o n i k v e r g l e i c h t d e n v o m i n t e g r i e r t e n
Massendurchflusssensor gemessenen Massendurchfluss (x) mit dem
Sollwert (w) für den Massendurchfluss, der dem MFC übermittelt wurde.
Die Regelelektronik berechnet anschließend die an das Magnetventil
zu übermittelnden Stellgröße (y), um dessen Öffnung zu steuern. Der
Massendurchfluss wird entweder anhand eines konstanten Wertes
stabil gehalten, oder entsprechend einem vordefinierten Profil verändert.
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