Bronkhorst EX-FLOW Mass Flow - Handbuch (Seite 17)

BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
2.10 Versorgungsdruck
Bevor die elektrischen Anschlüsse hergestellt sind, darf das Gerät nicht unter Druck gesetzt werden. Wenn
Sie dem Gerät Druck zuführen, achten Sie darauf, Druckstöße zu vermeiden und erhöhen Sie den Druck
stufenweise, besonders bei Meß- und Regeleinheiten für hohe Drücke, die über ein kolbengesteuertes
Regelventil verfügen.
2.11 Spülen des Systems
Falls explosive Gase verwendet werden sollen, spülen Sie das Gerät mit trockenem Inertgas,
wie z.B. Stickstoff, Argon, etc., für die Dauer von mind. 30 Minuten.
In Systemen mit korrosiven oder reaktiven Fluids wie Silan ist das Spülen mit einem Inertgas absolut
notwendig, denn wenn die Rohre der Luft ausgesetzt werden, entsteht eine chemische Reaktion mit Luft
oder Luftfeuchte, die zum Korrodieren oder Verschmutzen des Systems führt. Vollständiges Spülen ist auch
erforderlich, um derartige Fluids zu entfernen, bevor das System der Luft ausgesetzt wird. Das System sollte
nicht mit Luft in Berührung kommen, wenn mit solchen korrosiven Fluids gearbeitet wird.
2.12 Dichtungen
Bronkhorst High-Tech B.V. hat eine Liste geeigneter Materialien erstellt.
Es handelt sich jedoch nur um eine allgemeine Empfehlung, deren Zuverlässigkeit erheblich von den
Betriebsbedingungen abhängt. Daher kann Bronkhorst High-Tech B.V. keine Haftung übernehmen für
Schäden, die durch Beschädigung von Dichtungen entstehen.
Der Kunde muß für seinen speziellen Anwendungsfall die Zuverlässigkeit des verwendeten
Dichtungsmaterials überprüfen.
Versichern Sie sich daher, ob Dichtungen wie O-Ringe, Ventilkegel und Dichtpackungen von Kapillaren für
den Prozess geeignet sind.
2.13 Lagerung der Geräte
Die Geräte sollten in ihrer Originalverpackung in einem Schrank o.ä. gelagert und dürfen niemals extremen
Temperaturen oder Feuchtigkeit ausgesetzt werden.
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