Bronkhorst EX-FLOW Mass Flow - Handbuch (Seite 23)

BRONKHORST HIGH-TECH B.V.
6 Fehlersuche
6.1 Allgemein
Um die Arbeitsweise des Gerätes einwandfrei untersuchen zu können, muß es aus der Rohrleitung
genommen und ohne anstehenden Gasdruck geprüft werden.
Nach Lösen der Eingangsverschraubung bzw. des Anschlußflansches kann eine Verschmutzung sofort
festgestellt werden.
Durch Ein- und Ausschalten der Spannungsversorgung kann zunächst geprüft werden, ob das Gerät
elektronisch in Ordnung ist.
Danach kann die Gasleitung wieder angeschlossen werden, um das Durchflußverhalten zu prüfen.
Besteht der Verdacht einer Undichtigkeit bei einem Gasgerät, so prüfen Sie das bitte nicht
durch Sprühen einer Lecktestflüssigkeit, da es sonst einen Kurzschluß im Sensor oder der Platine geben
könnte.
6.2 Fehlersuchtabelle
Symptom mögliche Ursache Aktion
Kein Ausgangssignal Keine Spannungsversorgung 1a) Prüfen der Spannungsversorgung
1b) Prüfen des Kabelanschlusses
Ausgangsstufe ausgefallen
infolge längeren Kurzschlusses
und/oder Hochspannungsspitzen
1c) zurück ans Werk
Gasdruck zu hoch oder Differenzdruck
am Gerät zu hoch
1d) Vordruck senken
Ventil verstopft / kontaminiert 1e) zurück ans Werk
Sieb am Einlaß verstopft 1f) zurück ans Werk
Sensor-/Kapillarausfall 1g) zurück ans Werk
Max. Ausgangssignal Ausgangsstufe ausgefallen 2a) zurück ans Werk
Sensor-/Kapillarausfall 2b) zurück ans Werk
Ausgangssignal viel niedriger
als Sollwert-Signal oder
gewünschter Durchfluß
Sieb verstopft /kontaminiert 3a) zurück ans Werk
LFE verstopft/kontaminiert;
und/oder Flüssigkeit im Gerät
3b) zurück ans Werk
Ventil verstopft/kontaminiert 3c) zurück ans Werk
Ventil im Innern beschädigt
(gequollener Sitz im Kolben)
3d) zurück ans Werk
Falsche Gasart und/oder
Druck/Differenzdruck
3e) prüfen Sie das Gerät unter
Bedingungen, für die es ausgelegt wurde
Durchfluß läßt allmählich nach Kondensation, geschieht bei NH3,
Hydrokarbonen wie.
C H ,C H
3 8 4 10
usw.
4a) Vordruck reduzieren und/oder Gas
erwärmen
Ventiljustage hat sich verändert 4b) siehe 1e
Oszillation Anschlußdruck/Differenzdruck zu hoch 5a) Druck herabsetzen
Rohrleitung zwischen Druckregler und
MFC zu kurz
5b) Länge oder Durchmesser der
Eingangsrohrleitung erhöhen
Druckregler schwingt 5c) Druckregler ersetzen oder 5b versuchen
Schäden an der Ventilhülse oder im
Innern
5d) zurück ans Werk
Reglerjustage falsch 5e) Regler justieren
Kleiner Durchfluß bei Sollwert 0 Ventilleckagen infolge von defektem
Kolben oder Schmutz in Ventildüse
6a) zurück ans Werk
Druck zu hoch oder viel zu niedrig 6b) richtigen Druck anwenden
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