Burkert Type 8712 - Handbuch (Seite 8)

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Systembeschreibung
Typ8006,8702
5.1.2. allgemeineFunktionsweisedes
mFc,massFlowcontroller
Der MFC besteht aus:
• einem Sensor, der den Massendurchfluss misst,
• einer Regelelektronik,
• einem Regelelement: Reibungsarmes Proportionalventil mit hoher
Ansprechempfindlichkeit.
5.2. Funktionsweisedessensors
einesmFmodereinesmFc
• Die integrierten Massendurchflussmesser ermitteln den
Massendurchfluss nach dem Prinzip der thermischen
Messung (anemometrisch und kalorimetrisch). Sie bestehen
im Wesentlichen aus einem Heizwiderstand und einem
Temperaturfühler. Das durch das Gerät strömende Gas
verändert die gemessene Temperaturdifferenz zwischen beiden
Widerständen.
• Anhand der thermischen Messung kann der MFC den
erforderlichen Massendurchfluss unabhängig von Druck- und
Temperaturänderungen der betreffenden Anwendung regeln.
Um ein dynamisches bzw. ruhiges Istwert-Ausgangssignal
zu erhalten, lässt sich die Dämpfung des Ausgangssignals
mit der Software „Mass Flow Communicator“ verändern
(siehe Kapitel „10.1.3“).
Bei den MFM und MFC der Typen 8712, 8702 müssen
wegen der integrierten Sensortechnologie im Fall verunrei-
nigter Medien vor dem Gerät Filter eingebaut werden.
5.3. FunktionsweiseeinesmFcim
Detail
w
x
out
y
x
x
d
= w-x
Regelelektronik
Sensor Regelelement
(Magnetventil)
Mediumseingang
Mediumsausgang
Bild 1: Funktionsprinzip des Mass Flow Controller
Die Regelelektronik vergleicht den vom integrierten Massendurch-
flusssensor gemessenen Massendurchfluss (x) mit dem Sollwert
(w) für den Massendurchfluss, der dem MFC übermittelt wurde. Die
Regelelektronik berechnet anschließend die an das Magnetventil
zu übermittelnden Stellgröße (y), um dessen Öffnung zu steuern.
Der Massendurchfluss wird entweder entsprechend einem konstanten
Wert stabil gehalten, oder entsprechend einem vordefinierten Profil
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