4 beschreibung, Aufbau des geräts, 4beschreibung – INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch
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Beschreibung
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Beschreibung
Das Massenspektrometer-Modul ist ein Teil des Dichtheitsprüfsystems LDS3000.
Das Massenspektrometer-Modul kann ohne INFICON-Zubehör in einer Prüfanlage
betrieben werden.
4.1
Aufbau des Geräts
1- Anschlussblock
Anschlüsse für Prüfanlage, Vorvakuumpumpe, PIRANI-Druckmessstelle, internes
Kalibrierleck und Schnüffelleitung.
1: Anschluss U
LTRA
, 2: Anschluss F
INE
/S
NIFFER
, 3: Anschluss G
ROSS
/F
OREPUMP
Abb. 1
Massenspektrometer-Modul LDS3000
Abb. 2
Anschlussblock
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