INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Handbuch (Seite 45)

Wartung 45
7.4 Wartungsarbeiten
7.4.1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe
tauschen
1 Massenspektrometer-Modul außer Betrieb nehmen, siehe Kapitel 8, Seite 49 .
2 Turbomolekularpumpe ausbauen.
Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe fluten
Nur in geflutetem Zustand lässt sich der Verschlussdeckel des Betriebsmittelspei-
chers herausschrauben.
1 24-V-Netzteil von MSB-Box trennen.
2 Auslauf Turbomolekularpumpe abwarten (mindestens 1 min).
3 Gegebenenfalls Turbomolekularpumpe auskühlen lassen.
4 Belüftungsschraube langsam öffnen.
 Turbomolekularpumpe flutet auf Atmosphärendruck an.
Abb. 5 Turbomolekularpumpe SplitFlow 80
1 Verschlussdeckel
2 O-Ring
3 Betriebmittelspeicher
4 Belüftungschraube