INFICON LDS3000 Modular Leak Detector Benutzerhandbuch

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Wartung

Alten Betriebsmittelspeicher entnehmen

Stirnlochschlüssel, P/N: 551-200

Zwei Schraubendreher

Pinzette

O-Ring

Betriebsmittelspeicher, P/N: 200 003 801

Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet.

1

Auf Verfallsdatum des neuen Betriebsmittelspeichers achten.

Der neue Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel gefüllt.

2

Kein zusätzliches Betriebsmittel einfüllen.

3

Verschlussdeckel mit Stirnlochschlüssel herausschrauben.

4

Alten O-Ring entnehmen.

5

Betriebsmittelspeicher mit zwei Schraubendrehern herausheben.

Vergiftungsgefahr durch gesundheitsschädliche Stoffe

Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe können mit
giftigen Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein.
► Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen.
► Kontaminierte Teile vor Ausführung von Wartungsarbeiten dekontaminieren.
► Alte Betriebmittelspeicher nach geltenden Vorschriften entsorgen.

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