INFICON LDS3000 Modular Leak Detector - Handbuch (Seite 19)

Montage 19
5.3 Massenspektrometer-Modul an Prüfanlage anschließen
Die Betriebsart des Vakuumanschlusses und die Drehzahl der Turbomolekular-
pumpe legen fest:
• Kleinste nachweisbare Leckrate (KnL)
• Maximaler Einlassdruck (P
max
)
• Saugvermögen (S)
* dauerhaft zulässiger Einlassdruck
Kurzfristige Überschreitung (< 3 s):
Einlassdruck darf 0,4 mbar in U
LTRA und 0,7 mbar in F INE betragen.
Langfristige Überschreitung (> 3 s):
Warnmeldung (TMP Überhitzung) und mögliche Schädigung des Filaments.
1 Betriebsart Vakuumanschluss und Drehzahl Turbomolekularpumpe nach
vakuumphysikalischen Gegebenheiten der Prüfanlage bestimmen.
2 Massenspektrometer-Modul über U LTRA , F INE , oder G ROSS an Vakuumsystem
der Prüfanlage anschließen.
3 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen.
Anschluss Drehzahl Turbomolekularpumpe
1000 Hz 1500 Hz
U LTRA
KnL: < 5 x 10
-12
mbar·l/s < 1 x 10
-11
mbar·l/s
P
max
: 0,2 mbar 0,2 mbar *
S: 5 l/s 6 l/s
F INE
KnL: < 1 x 10
-11
mbar·l/s < 5 x 10
-11
mbar·l/s
P
max
: 0,9 mbar 0,4 mbar *
S: 1,8 l/s 2,5 l/s
G ROSS
KnL: < 1 x 10
-9
mbar·l/s < 2 x 10
-8
mbar·l/s
P
max
: 18 mbar 15 mbar
S: abhängig von der Vorvakuumpumpe
Sachschäden durch Druckstöße
Druckstöße, die den maximalen Einlassdruck überschreiten, beschädigen das
Massenspektrometer-Modul.
► Maximalen Einlassdruck nicht überschreiten.